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国家标准（GB/T）

本文件规定了干式洁净室及相关受控环境的位置选择、布局、围护结构、净化除湿空调、密封材料、润滑剂、静电消除、人员物料、消防、仪器仪表的技术要求。

本文件规定了生物洁净室中使用的压缩气体的技术要求及试验方法。

本文件适用于有微生物控制要求的洁净环境中使用的压缩气体，对微生物有控制要求的洁净室包括生物医药洁净环境和医疗机构I类环境等；压缩气体包括压缩空气、高纯气体（如氮气、氧气、二氧化碳）等。

本文件规定了有化学污染物控制要求的洁净室及相关受控环境中浓度为10⁰g/m³～10^-9g/m³的酸性、碱性空气化学污染物的离子色谱检测方法，包括方法原理、采样方法、分析方法等。

本文件适用于洁净室及相关受控环境中用离子色谱仪检测撞击式采样器采集到的酸性和碱性空气化学污染物浓度的方法。

本文件规定了有化学污染物控制要求的洁净室及相关受控环境中浓度为10⁰g/m³～10^-12g/m³的可凝聚有机空气化学污染物的检测方法，包括方法原理、采样方法、分析方法等。

本文件适用于洁净室及相关受控环境中气相色谱—质谱法检测可凝聚有机空气化学污染物浓度的方法。

国家标准化指导性技术文件（GB/Z）

本文件等同采用ISO /TR 14644-21:2023。规定了探头和粒子计数器的放置位置以及连接两者的各种管道的物理性限制，在提供具有代表性的样本时，5 μm 或更大的粒子是关注点。

本文件规定了洁净室及相关受控环境中1-100Hz频率范围内1/3倍频程中心频率的振动速度不大于50μm/s的微振动检测方法。

本文件规定了工业机器人预期在洁净室及相关受控环境中应用评估方法，包括应用要求、试验条件、试验方法、试验记录、适用性声明等。

本文件提供了洁净室及相关受控环境电子制程环境质效评价的通用要求、评价内容、评价方法与结论、评价报告。

成立于2008年1月，由国家标准化管理委员会统一管理和业务指导，秘书处承担单位为中国标准化协会，对口国际标准化组织洁净室及相关受控环境技术委员会（ISO/TC 209）。标委会归口管理国家标准37项，在研国家标准4项、国家标准化指导性技术文件4项。标委会主导制定完成国际标准1项，主持在研国际标准1项。标委会目前已形成覆盖电子信息产业、精密制造、生物医药与健康产业等领域涉及洁净室设计及建造、洁净设施设备的生产制造等国家标准、团体标准的研制能力，提供全产业全流程“一体化”标准服务，同时提供ISO国际标准策划、编辑、申报、参编服务。